中國科學技術大學

張澤洪
單位：中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
地址：江蘇省蘇州工業園區若水路398號
郵編：215123
電話：0512-62872725
個人主頁：http://sourcedb.sinano.cas.cn/zw/zjrck/201109/t20110926_3354280.html

個人簡歷  Personalresume 
1999年清華大學本科畢業，2002年中國科學院半導體所碩士畢業，2005年美國UniversityofSouthCarolina大學博士畢業，并從事博士后工作。2006年任職美國硅谷應用材料公司AppliedMaterial,Inc，任資深關鍵客戶技術師。2011年，加入中科院蘇州納米所，受聘為研究員（百人計劃/青年****）、博士生導師。美國UniversityofSouthCarolina寬帶隙半導體組是世界頂尖的研究SiC和GaN材料和器件的實驗室。該實驗室的SiC研究曾經得到經費支持累計約1800萬美元。在該組攻讀博士和博士后期間，主要從事SiC外延CVD設備的研制，工藝開發，位錯分析及器件測試。在期刊和國際會議文集上發表第一作者論文十余篇，其中4篇發表在Appl.Phys.Lett.上。應用材料公司是全球最大的半導體設備和太陽能設備提供商。在應用材料任職期間，曽為多名關鍵客戶，包括德國原AMD,新加坡特許半導體，IBM,臺灣南亞，華亞，華邦，力晶、瑞晶，奇夢達，美光，臺積電等提供大規模集成電路制造用設備和工藝技術。曾經負責過的設備產品包括MOCVD,CVD,PVD,ALD,PEALD,Preclean等。

研究方向  Researchdirection 
1、半導體材料與器件物理