華中科技大學(xué)

個人基本情況

李小清(Li Xiaoqing，Associate Professor )

郵箱：xqli@hust.edu.cn

主要研究方向

主要從事數(shù)控技術(shù)，機械電子工程，機器人技術(shù)，微電子制造裝備，工業(yè)自動控制技術(shù)，高速高精運動控制技術(shù)，伺服驅(qū)動技術(shù)的研究。

近年的科研項目、專著與論文、專利、獲獎承擔(dān)的科研項目：

1. 多介質(zhì)環(huán)境下兩棲仿生龜機器人關(guān)鍵技術(shù)研究，國家863計劃，2007.10-2011.5，項目負責(zé)人;

2. 高性能超精密主動隔振系統(tǒng)研發(fā)，國家重大專項 2010.1-2012.12;

3. 雙工件臺運動控制子系統(tǒng)硬件研發(fā)，國家重大專項，2010.1-2012.12;

4. 國基金 “數(shù)控軸插補的理論與實現(xiàn)”， 2011.1-2013.12;

5. 國基金“面向光刻機的超精密平面電機的設(shè)計與試驗研究”, 2007.10-2011.10;

6. “100nm光刻機工件臺、掩模臺運動控制系統(tǒng)”，國家863項目2004-2007;

7. 國家973項目“高速高精運動的生成和控制”，2004;

8. 國家863項目“高速高精運動控制器的研制”，2003;

9. 國家863項目“4+2多足步行機器人的研制”，2002;